簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "電漿處理".ckeyword (精準) and year="98"


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    Adsorption of Tetramethylammonium Hydroxide (TMAH) on Activated Carbons
    • 化學工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 王得立 指導教授: 劉志成
    • 四甲基氫氧化銨(TMAH)在現今被廣泛使用於薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)及半導體工業製程中。因四甲基氫氧化銨具毒性且含有氮源,故在排放前必需經過特別的廢水處理程序。在此研究中,探討利用活性…
    • 點閱:260下載:10

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    通道層處理技術於低溫複晶矽薄膜電晶體 特性改善之研究
    • 光電工程研究所 /98/ 碩士
    • 研究生: 王守寬 指導教授: 范慶麟
    • 為了改善低溫複晶矽薄膜電晶體電特性與穩定度,本論文以Fluorosilicate glass (FSG)覆蓋在通道層即複晶矽(Poly silicon, poly-si)上,在源極與汲極形成的同時,…
    • 點閱:344下載:3
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