檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "電漿處理".ckeyword (精準) and year="98"
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四甲基氫氧化銨(TMAH)在現今被廣泛使用於薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)及半導體工業製程中。因四甲基氫氧化銨具毒性且含有氮源,故在排放前必需經過特別的廢水處理程序。在此研究中,探討利用活性…
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為了改善低溫複晶矽薄膜電晶體電特性與穩定度,本論文以Fluorosilicate glass (FSG)覆蓋在通道層即複晶矽(Poly silicon, poly-si)上,在源極與汲極形成的同時,…